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异质外延碲镉汞薄膜的位错抑制技术

Dislocation Suppression Technique for Heteroepitaxy of HgCdTe Film

    摘要
  • 摘要: 本文简述了MBE异质外延碲镉汞薄膜位错形成机理、位错在外延层中的演化过程以及位错抑制理论,总结了国内外CdTe缓冲层的位错抑制技术、HgCdTe薄膜的位错抑制技术,分析了热循环退火技术各个要素与位错密度变化之间的关系.

     

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