Study on the Influence of CdTe Passivation Film Sputtering Power on HgCdTe Device Performance
-
摘要: 采用不同的溅射功率在长波HgCdTe(碲镉汞)薄膜表面沉积了CdTe钝化膜,制备了相应的MIS器件和二极管器件,并对器件进行了I-V测试和C-V测试,研究了溅射功率对CdTe钝化膜和器件性能的影响.结果表明,CdTe钝化膜溅射功率由140 W升高到180 W后,沉积速率显著增加,由3.5 nm/min增加到了9.5 nm/min;HgCdTe/钝化层界面固定电荷面密度增大,由2.43×1011 cm-2增大到了2.83×1011 cm-2;慢界面态密度也随溅射功率的增加而增大.
-
-
期刊类型引用(6)
1. 凌玲，郝小鹏，谢臣瑜，孙彦东，宋健，司马瑞衡，周晶晶. 自校准红外光谱仪的辐射定标与外场应用. 计量学报. 2023(09): 1395-1401 . 
百度学术
2. 王亚雄. 气体红外监测技术在煤制油领域的研究与应用. 煤化工. 2022(06): 61-64 . 百度学术
3. 吴越，朱之贞，方勇华，张蕾蕾，杨文康，陶孟琪，宁志强. 非制冷型长波红外光谱仪的辐射定标方法. 光学学报. 2019(09): 31-37 . 百度学术
4. 盛文阳，夏茂鹏，李健军，翟文超，郑小兵. 基于受激参量下转换的红外标准传递辐射计定标技术. 红外与激光工程. 2019(12): 94-100 . 百度学术
5. 谢佩，马艳华，李生红，葛明锋. 推帚式高光谱成像仪光谱定标及精度控制研究. 红外技术. 2016(02): 126-131 . 本站查看
6. 程丽鹏，张猛，王高，李仰军，田苗. 长波红外探测器的辐射定标. 科学技术与工程. 2016(28): 195-198+203 . 百度学术
其他类型引用(8)
计量
- 文章访问数: 134
- HTML全文浏览量: 14
- PDF下载量: 22
- 被引次数: 14
下载:
