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3~5μm红外窗口增透涂层的制备与性能研究

王浩, 曾宪光, 孙德恩, 裴晨蕊, 黄佳木

王浩, 曾宪光, 孙德恩, 裴晨蕊, 黄佳木. 3~5μm红外窗口增透涂层的制备与性能研究[J]. 红外技术, 2017, 39(8): 677-681,687.
引用本文: 王浩, 曾宪光, 孙德恩, 裴晨蕊, 黄佳木. 3~5μm红外窗口增透涂层的制备与性能研究[J]. 红外技术, 2017, 39(8): 677-681,687.
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WANG Hao, ZENG Xianguang, SUN De'en, PEI Chengrui, HUANG Jiamu. Preparation and Properties of 3-5μm Infrared Detection Coatings[J]. Infrared Technology , 2017, 39(8): 677-681,687.
Citation: WANG Hao, ZENG Xianguang, SUN De'en, PEI Chengrui, HUANG Jiamu. Preparation and Properties of 3-5μm Infrared Detection Coatings[J]. Infrared Technology , 2017, 39(8): 677-681,687.
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3~5μm红外窗口增透涂层的制备与性能研究

  • 重庆大学材料科学与工程学院,重庆,400030

  • 四川理工学院腐蚀与防护实验室,四川自贡,643000

  • 重庆大学

基金项目: 中央高校基本科研业务费科研专项理工类跨学科项目资助(CDJZR14135502)%重庆市基础与前沿研究计划项目(cstc2015jcyjA70005)%材料腐蚀与防护四川省重点实验室开放基金(2016CL13)
详细信息

  • 中图分类号: TN213%TN214

Preparation and Properties of 3-5μm Infrared Detection Coatings

摘要

    摘要
  • 摘要: 利用直流非平衡磁控溅射技术,在100℃条件下,在单晶硅上制备了具有红外增透效果的类金刚石薄膜,研究了偏压对薄膜结构、机械性能和红外光学性能的影响,解释了薄膜结构与性能之间的关系.利用场发射扫描电镜(FESEM)、Dektak150型台阶仪、Raman光谱仪、纳米压痕仪、椭偏仪和傅里叶红外吸收光谱仪表征薄膜形貌、结构、硬度、折射率和红外光学性能.实验结果表明:在偏压为-100V时,薄膜中sp3相含量最高,得到最大的纳米硬度14.8 GPa和最大折射率2.36,此时透光率为67.3%;在偏压为-200 V时,薄膜硬度为11.2 GPa,薄膜的折射率为2.06,最接近零反射膜所需折射率,此时透过率最大.
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