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MEMS红外光源定向辐射结构设计与分析

孔龄婕, 贺婷, 陈东红, 燕乐, 张鹏, 丑修建

孔龄婕, 贺婷, 陈东红, 燕乐, 张鹏, 丑修建. MEMS红外光源定向辐射结构设计与分析[J]. 红外技术, 2015, (6): 492-495.
引用本文: 孔龄婕, 贺婷, 陈东红, 燕乐, 张鹏, 丑修建. MEMS红外光源定向辐射结构设计与分析[J]. 红外技术, 2015, (6): 492-495.
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KONG Ling-jie, HE Ting, CHEN Dong-hong, YAN Le, ZHANG Peng, CHOU Xiu-jian. Design and Analysis of Directional Radiation Structure of MEMS Infrared Light Source[J]. Infrared Technology , 2015, (6): 492-495.
Citation: KONG Ling-jie, HE Ting, CHEN Dong-hong, YAN Le, ZHANG Peng, CHOU Xiu-jian. Design and Analysis of Directional Radiation Structure of MEMS Infrared Light Source[J]. Infrared Technology , 2015, (6): 492-495.
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MEMS红外光源定向辐射结构设计与分析

  • 中北大学电子测试技术国防重点实验室，仪器科学与动态测试教育部重点实验室，山西太原 030051

  • 中北大学

基金项目: 国家自然科学基金资助项目，编号51275492；中国博士后科学基金特别资助项目，编号2013T60557；中国博士后科学基金面上资助项目，编号2012T52118；江苏省博士后科研资助计划项目，编号1201038C。
详细信息

  • 中图分类号: TN212

Design and Analysis of Directional Radiation Structure of MEMS Infrared Light Source

摘要

    摘要
  • 摘要: 红外光源辐射利用率是制造高性能红外系统的关键，准直透镜因其减少红外光源的广角散射而大幅提高红外光源利用率。针对MEMS红外光源设计CaF2高红外透射材料的双凸曲面结构准直辐射透镜，使红外光线收敛呈准直辐射；由MEMS红外光源封装确定透镜最佳口径r＝6.48 mm，透镜焦距f＝7.2 mm，透镜厚度d?≤2 mm，用Zemax光学软件仿真优化，得出中间层厚度d＝0.309 mm。并进行透镜的聚光光路仿真分析和效果验证，为定向辐射 MEMS 红外光源研发提供最优的原型尺寸参数，极大提高设计效率。
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