The Effect of N2 for Dry Etching Induced Damage of HgCdTe
-
摘要: 报道了碲镉汞（HgCdTe）干法刻蚀诱导损伤的相关研究。由于干法刻蚀过程中，刻蚀剂主要采用CH4/H2，其裂解产生的H容易扩散到材料内部引起材料的电学性质发生改变，从而产生刻蚀诱导损伤。通过在刻蚀剂中引入一定量的N2，可以抑制H对材料电学性质的改变作用。
-
-
期刊类型引用(15)
1. 李丽娟，刘珂，徐振亚，史晓刚. 红外成像导引头对隐身飞机探测性能提升途径分析. 航空兵器. 2024(02): 138-144 . 
百度学术
2. 陈彦冠，张雨竹，王亮，袁媛，王成刚，于艳，聂媛. 数字化红外探测器的读出电路晶圆测试系统研究. 红外. 2023(12): 7-14 . 百度学术
3. 姚立斌，陈楠，胡窦明，王英，毛文彪，钟昇佑，张济清. 数字红外焦平面探测器(特邀). 红外与激光工程. 2022(01): 1-11 . 百度学术
4. 陈楠，张济清，毛文彪，李雄军，宋林伟，高玲，姚立斌. 大动态范围、高灵敏度红外焦平面数字像元读出电路技术(特邀). 红外与激光工程. 2022(03): 21-31 . 百度学术
5. 钟昇佑，姚立斌，范明国，李正芬. 1280×1024, 10μm数字红外焦平面读出电路设计(特邀). 红外与激光工程. 2022(04): 9-16 . 百度学术
6. 王铭赫，李硕，金伟其，米凤文. HDR热成像系统动态范围特性测试评价方法. 红外与激光工程. 2021(09): 142-151 . 百度学术
7. 姚立斌，陈楠. 高性能低噪声数字读出电路. 红外与激光工程. 2020(01): 83-92 . 百度学术
8. 黄伟奇，唐祯安. 应用于微测辐射热计的12位SAR ADC的设计. 仪表技术与传感器. 2020(03): 31-37 . 百度学术
9. 陈彦冠，王亮，李进武，王成刚，于艳. 数字化红外焦平面探测器光谱响应测试系统研究. 红外. 2020(09): 31-36 . 百度学术
10. 田萦，郑云峰，钟莺，罗顺芝，郭冰江. 技术类期刊作者群的拓展. 编辑学报. 2019(01): 91-93 . 百度学术
11. 高曼，叶茂，赵公元，王佩瑶，赵毅强. 二极管型红外探测器数字输出型读出电路. 哈尔滨工业大学学报. 2019(04): 40-45 . 百度学术
12. 陈同少. 大动态范围数字化像素单元. 电子产品世界. 2018(09): 67-70 . 百度学术
13. 周连军，韩福忠，白丕绩，舒畅，孙皓，王晓娟，李京辉，邹鹏程，郭建华，王琼芳. 高温碲镉汞中波红外探测器的国内外进展. 红外技术. 2017(02): 116-124 . 本站查看
14. 姬玉龙，毛京湘，李雯霞，杨鹏伟，黄俊博，舒畅，李红福，谢刚. 数字化红外焦平面探测器光谱响应测试系统研究. 红外技术. 2017(10): 897-902 . 本站查看
15. 白丕绩，赵俊，韩福忠，李立华，王博，姚立斌，李敏. 数字化中波红外焦平面探测器组件研究进展. 红外与激光工程. 2017(01): 23-30 . 百度学术
其他类型引用(18)
计量
- 文章访问数: 89
- HTML全文浏览量: 18
- PDF下载量: 15
- 被引次数: 33
下载:
