白雪平, 郑渝, 李金, 刘芳, 陈于伟, 汪朝敏. 512×512元帧转移EMCCD图像传感器[J]. 红外技术, 2016, 38(4): 300-304.
引用本文: 白雪平, 郑渝, 李金, 刘芳, 陈于伟, 汪朝敏. 512×512元帧转移EMCCD图像传感器[J]. 红外技术, 2016, 38(4): 300-304.
BAI Xueping, ZHENG Yu, LI Jin, LIU Fang, CHEN Yuwei, WANG Chaomin. A Frame Transfer EMCCD Image Sensor with 512×512 Pixels[J]. Infrared Technology , 2016, 38(4): 300-304.
Citation: BAI Xueping, ZHENG Yu, LI Jin, LIU Fang, CHEN Yuwei, WANG Chaomin. A Frame Transfer EMCCD Image Sensor with 512×512 Pixels[J]. Infrared Technology , 2016, 38(4): 300-304.

512×512元帧转移EMCCD图像传感器

A Frame Transfer EMCCD Image Sensor with 512×512 Pixels

  • 摘要: 采用埋沟、三层多晶硅、两次金属工艺,研制出正照EMCCD器件.器件的像元尺寸16μm×16μm.器件在-20℃下工作,读出频率10 MHz,倍增增益可达1000倍以上,探测灵敏度5×10-4 lx.

     

/

返回文章
返回