大面积光学级金刚石自支撑膜研究进展

吕反修, 唐伟忠, 李成明, 陈广超, 佟玉梅

吕反修, 唐伟忠, 李成明, 陈广超, 佟玉梅. 大面积光学级金刚石自支撑膜研究进展[J]. 红外技术, 2003, 25(4): 1-7. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.04.001
引用本文: 吕反修, 唐伟忠, 李成明, 陈广超, 佟玉梅. 大面积光学级金刚石自支撑膜研究进展[J]. 红外技术, 2003, 25(4): 1-7. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.04.001
Progress on the R&D for Large Area Optical Grade Freestanding Diamond Films[J]. Infrared Technology , 2003, 25(4): 1-7. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.04.001
Citation: Progress on the R&D for Large Area Optical Grade Freestanding Diamond Films[J]. Infrared Technology , 2003, 25(4): 1-7. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.04.001

大面积光学级金刚石自支撑膜研究进展

基金项目: 国家高技术研究发展计划(863计划)(Z)-A)%国家高技术研究发展计划(863计划)(2002AA305508)
详细信息
  • 中图分类号: TN213

Progress on the R&D for Large Area Optical Grade Freestanding Diamond Films

  • 摘要: 大面积光学级金刚石自支撑膜的制备和加工是近年来在CVD金刚石研究领域的最重要的技术进展之一.综述了北京科技大学近年来在CVD金刚石膜光学应用领域的研究进展.给出了采用高功率直流电弧等离子体喷射(DC Arc Plasma Jet) CVD工艺制备大面积光学级金刚石自支撑膜的研究结果, 并报道了对所制备的光学级金刚石自支撑膜的光学、力学(机械)、热学和微波介电性能的最新研究结果.
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