Ion Beam Sputtering Alumina Film and Application in Sapphire Optical Windows
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摘要: 为了研究Al2O3薄膜在蓝宝石光学窗口中的应用,采用离子束溅射技术制备了不同工艺条件下的Al2O3薄膜,根据薄膜的测试结果对薄膜的折射率和消光系数进行了拟合,分析了工艺条件对Al2O3薄膜性能的影响.在蓝宝石窗口上用ZnS和Al2O3作为高、低折射率材料,设计并制备了电视(600～900 nm)和中红外(3.4～4.8 μm)双波段高效减反射薄膜,测试结果表明,薄膜的减反射效果良好,具有较强的环境适应性,适合于作为光学窗口薄膜.而Al2O3薄膜吸潮引起的2.8～3.5 μm波段的吸收,以及蓝宝石基片在4.0 μm之后的吸收是造成透射率较低的主要原因.
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期刊类型引用(2)
1. 王松林，张建付，米高园，阴万宏，刘青龙，赵红军，张向明. 多波段薄膜的波长误差补偿设计方法与应用. 真空. 2024(06): 7-14 . 
百度学术
2. 张建付，王松林，杨崇民，李明伟，米高园，赵红军. 屏蔽电磁波和红外的激光滤光片研制. 光学技术. 2021(05): 561-564 . 百度学术
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