热处理对背照式CMOS传感器信噪比影响的实验研究

基金项目: 中央军委装备发展部装备预研项目%中国兵器创新团队项目

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Impact of Annealing Temperature on SNR in Backside-illuminated CMOS Image Sensor: an Experimental Study

摘要: 基于真空光电阴极和背照式CMOS图像传感器研制了电子轰击CMOS(EBCMOS)混合型光电探测器.为了对BSI-CMOS图像传感器在EBCMOS混合型光电探测器领域的应用提供可靠性指导,对BSI-CMOS图像传感器进行了100℃～325℃的变温热处理实验,着重分析了热处理后的BSI-CMOS图像传感器的光响应输出信号值、固定模式噪声(fixed pattern noise,FPN)、随机噪声及信噪比(signal-to-noise ration,SNR)随热处理温度的变化规律.实验结果表明:随着热处理温度的升高,样品器件的光响应输出信号值基本保持不变,当温度升高至325℃时,样品器件的固定模式噪声由32 e-升高至246 e-,随机噪声由51 e-升高至70 e-,信噪比由17.76 dB降低至4.81 dB,其中信噪比的降低主要归因于固定模式噪声的增大,热处理温度达到325℃会导致BSI-CMOS图像传感器信噪比明显降低.
- EBCMOS /
- 背照式CMOS图像传感器 /
- 热处理温度 /
- 信噪比

1.	李硕，韩迎东，王双，刘琨，江俊峰，刘铁根. 基于Pearson相关系数的图像误匹配点剔除算法. 激光与光电子学进展. 2021(08): 263-273 . 百度学术
2.	赵耀，熊智，田世伟，刘建业，崔雨晨. 基于SAR图像匹配结果可信度评价的INS/SAR自适应Kalman滤波算法. 航空学报. 2019(08): 216-227 . 百度学术
3.	李尊，申小萌，苗同军. 对比度阈值自适应的SIFT图像拼接算法. 红外技术. 2017(10): 946-950 . 本站查看
4.	林丽萍，张亚萍. 基于错配剔除的三维重建研究. 系统仿真学报. 2017(11): 2644-2648 . 百度学术
5.	杨雨薇，张亚萍. 一种改进的SIFT图像检测与特征匹配算法. 云南大学学报(自然科学版). 2017(03): 376-384 . 百度学术