热处理对背照式CMOS传感器信噪比影响的实验研究

王生凯, 靳川, 乔凯, 焦岗成, 程宏昌, 刘晖, 苗壮

王生凯, 靳川, 乔凯, 焦岗成, 程宏昌, 刘晖, 苗壮. 热处理对背照式CMOS传感器信噪比影响的实验研究[J]. 红外技术, 2019, 41(6): 585-590.
引用本文: 王生凯, 靳川, 乔凯, 焦岗成, 程宏昌, 刘晖, 苗壮. 热处理对背照式CMOS传感器信噪比影响的实验研究[J]. 红外技术, 2019, 41(6): 585-590.
WANG Shengkai, JIN Chuan, QIAO Kai, JIAO Gangcheng, CHENG Hongchang, LIU Hui, MIAO Zhuang. Impact of Annealing Temperature on SNR in Backside-illuminated CMOS Image Sensor: an Experimental Study[J]. Infrared Technology , 2019, 41(6): 585-590.
Citation: WANG Shengkai, JIN Chuan, QIAO Kai, JIAO Gangcheng, CHENG Hongchang, LIU Hui, MIAO Zhuang. Impact of Annealing Temperature on SNR in Backside-illuminated CMOS Image Sensor: an Experimental Study[J]. Infrared Technology , 2019, 41(6): 585-590.

热处理对背照式CMOS传感器信噪比影响的实验研究

基金项目: 中央军委装备发展部装备预研项目%中国兵器创新团队项目
详细信息
  • 中图分类号: TN215

Impact of Annealing Temperature on SNR in Backside-illuminated CMOS Image Sensor: an Experimental Study

  • 摘要: 基于真空光电阴极和背照式CMOS图像传感器研制了电子轰击CMOS(EBCMOS)混合型光电探测器.为了对BSI-CMOS图像传感器在EBCMOS混合型光电探测器领域的应用提供可靠性指导,对BSI-CMOS图像传感器进行了100℃~325℃的变温热处理实验,着重分析了热处理后的BSI-CMOS图像传感器的光响应输出信号值、固定模式噪声(fixed pattern noise,FPN)、随机噪声及信噪比(signal-to-noise ration,SNR)随热处理温度的变化规律.实验结果表明:随着热处理温度的升高,样品器件的光响应输出信号值基本保持不变,当温度升高至325℃时,样品器件的固定模式噪声由32 e-升高至246 e-,随机噪声由51 e-升高至70 e-,信噪比由17.76 dB降低至4.81 dB,其中信噪比的降低主要归因于固定模式噪声的增大,热处理温度达到325℃会导致BSI-CMOS图像传感器信噪比明显降低.
  • 期刊类型引用(5)

    1. 闫磊,石峰,程宏昌,焦岗成,杨晔,肖超,樊海波,郑舟,董海晨,何惠洋. 低能电子轰击引起氧化铝钝化膜BCMOS传感器暗电流变化研究. 红外技术. 2024(03): 342-346 . 本站查看
    2. 韩剑,焦岗成,闫磊,程宏昌,杨晔,雷石伟,樊海波,李桐桐. 数字微光器件研究进展. 应用光学. 2023(04): 874-886 . 百度学术
    3. 李书涵,陈文娥,王重霄,陈卫军,宋德,李野. EBCMOS钝化层表面残气吸附特性. 半导体光电. 2023(06): 901-906 . 百度学术
    4. 王熠,苗凯. 红外遥感探测下运动姿态多目标图像重构方法. 激光杂志. 2020(06): 89-93 . 百度学术
    5. 张红. 基于现实增强技术的数字绘本图像传感器设计. 自动化与仪器仪表. 2020(09): 84-87 . 百度学术

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