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碲镉汞液相外延石墨舟的温度场均匀性改善

陆骏, 李东升, 木胜, 万志远, 朱辉, 薄俊祥, 杨岸, 黄元晋, 王志斌

陆骏, 李东升, 木胜, 万志远, 朱辉, 薄俊祥, 杨岸, 黄元晋, 王志斌. 碲镉汞液相外延石墨舟的温度场均匀性改善[J]. 红外技术, 2019, 41(4): 299-304.
引用本文: 陆骏, 李东升, 木胜, 万志远, 朱辉, 薄俊祥, 杨岸, 黄元晋, 王志斌. 碲镉汞液相外延石墨舟的温度场均匀性改善[J]. 红外技术, 2019, 41(4): 299-304.
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LU Jun, LI Dongsheng, MU Sheng, WAN Zhiyuan, ZHU Hui, BO Junxiang, YANG An, HUANG Yuanjin, WANG Zhibin. Improvement of Temperature Uniformity of Graphite Slider Boat for LPE Growth of HgCdTe Films[J]. Infrared Technology , 2019, 41(4): 299-304.
Citation: LU Jun, LI Dongsheng, MU Sheng, WAN Zhiyuan, ZHU Hui, BO Junxiang, YANG An, HUANG Yuanjin, WANG Zhibin. Improvement of Temperature Uniformity of Graphite Slider Boat for LPE Growth of HgCdTe Films[J]. Infrared Technology , 2019, 41(4): 299-304.
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碲镉汞液相外延石墨舟的温度场均匀性改善

  • 昆明物理研究所,云南昆明,650223

  • 中国科学院昆明物理研究所

基金项目: 973项目(613230)
详细信息

  • 中图分类号: TN304.2%O484.1

Improvement of Temperature Uniformity of Graphite Slider Boat for LPE Growth of HgCdTe Films

摘要

    摘要
  • 摘要: 对碲镉汞液相外延(Liquid phase epitaxy,LPE)石墨舟进行了数值模拟,计算了石墨舟温度场分布.通过在母液周围加入石英框,分析其对温度场的影响,得到了石英框壁厚与温度分布的关系.模拟发现,在母液周围加入石英框结构,可以提高外延生长界面温度场均匀性.最后,将分析结果与实验相结合,进行实验验证,成功降低了边界效应对碲镉汞薄膜的影响,外延生长出厚度极差?δ为1.4μm、组分极差?x不超过0.002的长波碲镉汞薄膜.
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    1. 李瑫，程文进，黄志海，杨勇，陈李松. 液相外延设备温度控制系统研究. 电子工业专用设备. 2021(01): 8-11+56 . 百度学术

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