碲镉汞液相外延石墨舟的温度场均匀性改善
Improvement of Temperature Uniformity of Graphite Slider Boat for LPE Growth of HgCdTe Films
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摘要: 对碲镉汞液相外延(Liquid phase epitaxy,LPE)石墨舟进行了数值模拟,计算了石墨舟温度场分布.通过在母液周围加入石英框,分析其对温度场的影响,得到了石英框壁厚与温度分布的关系.模拟发现,在母液周围加入石英框结构,可以提高外延生长界面温度场均匀性.最后,将分析结果与实验相结合,进行实验验证,成功降低了边界效应对碲镉汞薄膜的影响,外延生长出厚度极差?δ为1.4μm、组分极差?x不超过0.002的长波碲镉汞薄膜.
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