超精密车削单晶锗表面性能分析

超精密车削单晶锗表面性能分析

石广丰, 韩冬冬, 史国权, 付旺, 王淑坤, 张华, 刘思宇

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石广丰, 韩冬冬, 史国权, 付旺, 王淑坤, 张华, 刘思宇. 超精密车削单晶锗表面性能分析[J]. 红外技术, 2019, 41(3): 208-213.

引用本文:

石广丰, 韩冬冬, 史国权, 付旺, 王淑坤, 张华, 刘思宇. 超精密车削单晶锗表面性能分析[J]. 红外技术, 2019, 41(3): 208-213.

SHI Guangfeng, HAN Dongdong, SHI Guoquan, FU Wang, WANG Shukun, ZHANG Hua, LIU Siyu. Surface Performance Analysis of Ultra-precision Turning Single Crystal Germanium[J]. Infrared Technology , 2019, 41(3): 208-213.

Citation:

SHI Guangfeng, HAN Dongdong, SHI Guoquan, FU Wang, WANG Shukun, ZHANG Hua, LIU Siyu. Surface Performance Analysis of Ultra-precision Turning Single Crystal Germanium[J]. Infrared Technology , 2019, 41(3): 208-213.

超精密车削单晶锗表面性能分析

长春理工大学机电工程学院,长春,130022
长春理工大学

基金项目: 国家自然科学基金资助项目(51405031,51575057)%吉林省科技厅计划项目(20170101124JC,20180414068GH)

详细信息

中图分类号: TG51
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出版历程

Surface Performance Analysis of Ultra-precision Turning Single Crystal Germanium

摘要: 单晶锗是典型的红外光学晶体材料,其加工表面的评价方法大都局限于面形精度,而加工过程所产生的位错及晶面间距变化也会影响单晶锗的使用性能.为了全面地评价单晶锗加工后的表面性能,通过表面粗糙度轮廓仪、X射线衍射仪等设备,对超精密车削的单晶锗平面及曲面进行了表面粗糙度和X射线检测,获得了针对单晶锗平面的表面粗糙度与位错密度相结合的性能评价方法,及针对单晶锗曲面的表面粗糙度与晶面间距变化程度相结合的性能评价方法.相关研究对单晶锗在红外光学及其它领域的加工应用有重要意义.
- 单晶锗 /
- X射线 /
- 摇摆曲线 /
- 晶面间距

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