增强短波红外InGaAs探测器透过率的纳米光天线研究
Enhanced Transmissivity of InP-based InGaAs Photodetectors by Optical Nano-antenna
-
摘要: 过去几十年中,短波红外InGaAs探测器被广泛用于近红外探测系统中,通过将InGaAs光电探测器与纳米光天线结合可以增强光吸收并提高量子效率.然而,这种纳米光天线往往由聚焦离子束或电子束光刻制备而成,制备成本较高.本文介绍了一种更经济的沉积法来制备纳米光天线.用沉积法制备了纳米Ag颗粒阵列,Ag球平均半径为200 nm.研究了Ag纳米球阵列的表面等离子体效应对InGaAs光电探测器光吸收性能的影响,发现在整个近红外波段,InGaAs光电探测器帽层的透过率均显著提高.并且发现SiO2涂层激发了局域表面等离子体共振,分析了其对波长1μm附近的入射光的透过率增强效应.
下载: