摘要: 本文提出了一种基于类电磁诱导透明(Electromagnetically Induced Transparency,EIT)效应的太赫兹超材料折射率传感器.该器件结构单元由介质层和金属层构成,金属层是由四开口环和金属条组合的非对称结构.传感器透射谱产生了尖锐的透明峰,实现了类EIT效应.仿真分析了该器件的传感性能,实现了Q值为92.0、折射率灵敏度为61.0GHz/RIU、品质因数(Figure of Merit,FOM)为8.5的折射率传感功能,远优于对称结构的开口谐振环传感器.这种具有较高Q值、较高灵敏度和偏振不相关性的太赫兹超材料传感器在无标记的化学、生物传感中具有潜在应用价值.