基于脉冲相位的缺陷深度定量辨识
Quantitative Identification of Defect Depth by Pulsed Phase
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摘要: 为了改进传统脉冲相位检测法在缺陷深度检测中存在的不足,提出了利用检测表面相位信息来进行缺陷深度反演识别的方法,研究了初始假设、窗口时间以及测温误差对缺陷深度识别的影响.研究结果表明在无测温误差时,在不同初始假设、缺陷深度和窗口时间下,缺陷深度都准确的识别;识别精度会随随机误差的增大而减小而均匀误差不改变识别精度,并且在较大的随机误差下仍有较好的识别精度,表明了利用检测表面相位进行缺陷深度反演辨识的可行性.
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