激光扫描红外热波成像在膜厚测量中的应用

基金项目: 科技部中小企业技术创新项目(14C26213201110)

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Application of Laser Scanning Infrared Thermography for Measuring Film Thickness

摘要: 随着涂层及薄膜材料的广泛应用,工业界对膜厚的测量与质量控制提出了更高的要求,膜层厚度测试变得尤为重要.针对目前检测方法的不足,介绍了一种激光扫描红外热波测量膜厚的方法.采用"温度波线行波法"分析,使长时间激光扫描样品表面温度场函数简化.基于此,得出激光扫描样品表面的温度时间曲线可以转化为相对应的温度空间曲线与扫描速度的乘积,从而可以把样品表面的温度时间曲线转化为样品表面的温度空间曲线.通过温度空间曲线与理论公式曲线进行拟合,即可测量出膜层的厚度,最后通过自主研发的激光扫描红外热波成像设备对50~350μm膜层厚度进行了测量,重复性好且测量精度在5%以内.
- 激光扫描 /
- 红外热波成像 /
- 无损检测 /
- 温度场 /
- 膜厚测量

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