激光扫描红外热波成像在膜厚测量中的应用

江海军, 陈力

江海军, 陈力. 激光扫描红外热波成像在膜厚测量中的应用[J]. 红外技术, 2017, 39(12): 1144-1148.
引用本文: 江海军, 陈力. 激光扫描红外热波成像在膜厚测量中的应用[J]. 红外技术, 2017, 39(12): 1144-1148.
JIANG Haijun, CHEN Li. Application of Laser Scanning Infrared Thermography for Measuring Film Thickness[J]. Infrared Technology , 2017, 39(12): 1144-1148.
Citation: JIANG Haijun, CHEN Li. Application of Laser Scanning Infrared Thermography for Measuring Film Thickness[J]. Infrared Technology , 2017, 39(12): 1144-1148.

激光扫描红外热波成像在膜厚测量中的应用

基金项目: 科技部中小企业技术创新项目(14C26213201110)
详细信息
  • 中图分类号: TH978

Application of Laser Scanning Infrared Thermography for Measuring Film Thickness

  • 摘要: 随着涂层及薄膜材料的广泛应用,工业界对膜厚的测量与质量控制提出了更高的要求,膜层厚度测试变得尤为重要.针对目前检测方法的不足,介绍了一种激光扫描红外热波测量膜厚的方法.采用"温度波线行波法"分析,使长时间激光扫描样品表面温度场函数简化.基于此,得出激光扫描样品表面的温度时间曲线可以转化为相对应的温度空间曲线与扫描速度的乘积,从而可以把样品表面的温度时间曲线转化为样品表面的温度空间曲线.通过温度空间曲线与理论公式曲线进行拟合,即可测量出膜层的厚度,最后通过自主研发的激光扫描红外热波成像设备对50~350μm膜层厚度进行了测量,重复性好且测量精度在5%以内.
  • 期刊类型引用(6)

    1. 杨羿,刘朵,张建东. 基于红外热成像的涂层厚度检测及均匀性评价. 无损检测. 2024(01): 23-27 . 百度学术
    2. 柳赟,鹿冠群. 人工智能技术的大视场光电测量系统畸变校正. 激光杂志. 2020(08): 40-44 . 百度学术
    3. 孙丹. 基于自适应差分进化的激光成像降噪技术. 激光杂志. 2020(09): 142-146 . 百度学术
    4. 庄志惠,施金鸿,岑健,陈丽. 基于激光技术的光电无损检测系统. 激光杂志. 2019(07): 39-42 . 百度学术
    5. 杨正伟,谢星宇,李胤,张炜,田干. 激光扫描热成像无损检测关键参数影响分析. 红外与激光工程. 2019(11): 91-101 . 百度学术
    6. 刘潇,倪艺洋. 基于激光扫描的无线传感网络数据拟合系统. 激光杂志. 2018(12): 66-69 . 百度学术

    其他类型引用(2)

计量
  • 文章访问数:  139
  • HTML全文浏览量:  19
  • PDF下载量:  16
  • 被引次数: 8
出版历程

目录

    /

    返回文章
    返回