红外显微热成像系统研究及应用

基金项目: 云南省科技厅省院省校科技合作专项(2014IB007)%国家自然科学基金(5177060654)%云南省胡志宇专家工作站(云科合发[2014]5号)

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Research and Applications of Infrared Thermal Microscope Imaging System

摘要: 红外显微热成像系统基于红外热成像、红外图像处理和光学显微技术,能够分析微小物体或局部细节的温度变化,具有无损检测、灵敏度高等优点.对红外显微热成像系统的研究背景进行了概括,介绍了它的基本原理和系统组成,总结了红外显微热成像系统的研究现状及其在微电子器件检测、医学诊断、科学实验研究等方面的应用进展,对其存在的问题进行了分析,并且展望了红外显微热成像系统的未来发展趋势.
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