高性能17μm非制冷氧化钒红外焦平面探测器的研制

李煜, 方辉, 谭果, 李军利, 郭健海, 史晔, 何熙, 冯涛, 张海军

李煜, 方辉, 谭果, 李军利, 郭健海, 史晔, 何熙, 冯涛, 张海军. 高性能17μm非制冷氧化钒红外焦平面探测器的研制[J]. 红外技术, 2017, 39(9): 785-793,797.
引用本文: 李煜, 方辉, 谭果, 李军利, 郭健海, 史晔, 何熙, 冯涛, 张海军. 高性能17μm非制冷氧化钒红外焦平面探测器的研制[J]. 红外技术, 2017, 39(9): 785-793,797.
LI Yu, FANG Hui, TAN Guo, LI Junli, GUO Jianhai, SHI Ye, HE Xi, FENG Tao, ZHANG Haijun. Development of High-Performance 17μm Uncooled VOxInfrared Focal Plane Array[J]. Infrared Technology , 2017, 39(9): 785-793,797.
Citation: LI Yu, FANG Hui, TAN Guo, LI Junli, GUO Jianhai, SHI Ye, HE Xi, FENG Tao, ZHANG Haijun. Development of High-Performance 17μm Uncooled VOxInfrared Focal Plane Array[J]. Infrared Technology , 2017, 39(9): 785-793,797.

高性能17μm非制冷氧化钒红外焦平面探测器的研制

详细信息
  • 中图分类号: TN215

Development of High-Performance 17μm Uncooled VOxInfrared Focal Plane Array

  • 摘要: 研制出一款640×512高性能17μm非制冷氧化钒红外焦平面探测器.读出电路输入级采用镜像电路获得盲像元(Rd)和感光像元(Rs)电流差的积分电流(Iint),并能够有效抑制输入偏压噪声;同时采用逐行积分、逐列读出模式.氧化钒采用单层微桥工艺;像元桥臂间距缩至0.8μm,以尽可能增大桥面及VOx面积,有效提高像元响应率.器件采用高可靠性的金属真空封装.测试结果表明,器件的噪声等效温差(NETD)小于45 mK,响应率大于15 mV/K,热响应时间小于10 ms.
  • 期刊类型引用(4)

    1. 李家元,顾晨阳,李林,白海宇,田羽凌,张圣南. 微晶石墨的纯化及石墨烯的制备研究. 湘南学院学报. 2021(02): 9-14+28 . 百度学术
    2. 陈力颖,于文阳,任亚晶. 一种新的红外焦平面阵列调整电路设计. 激光与红外. 2020(07): 869-874 . 百度学术
    3. 蔡泓,唐祯安,谢冬雪,黄伟奇. 基于微测辐射热计读出电路的DAC设计. 仪表技术与传感器. 2018(08): 17-20+24 . 百度学术
    4. 沈玲羽,庞屹林,范阳,夏晓娟,吉新村,郭宇锋. 红外读出电路中低功耗列读出级电路的设计. 固体电子学研究与进展. 2015(04): 377-382 . 百度学术

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