应用于振动扫描的碳化硅反射镜设计与分析

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Design and Analysis of SiC Mirror for Vibration and Scanning

摘要: 针对光电系统中常用的振动扫描反射镜进行了结构设计技术研究.采用碳化硅材料,设计了反射镜的支撑方式,确定了反射镜轻量化孔的形式.使用ANSYS软件对反射镜分别进行了静态和动态面型变化仿真分析,并利用最小二乘法对变形后的反射镜面进行了平面拟合,分析了变形误差.对常用的几种反射膜进行了对比分析.最后对实际使用的反射镜进行了面形检测,实际成像质量表面反射镜可以满足使用要求.
- 光电系统 /
- 扫描反射镜 /
- 碳化硅 /
- 轻量化孔 /
- 有限元

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