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MEMS红外光源光谱特性及温度特性测试研究

张鹏, 丑修建, 刘立, 王二伟, 张辉

张鹏, 丑修建, 刘立, 王二伟, 张辉. MEMS红外光源光谱特性及温度特性测试研究[J]. 红外技术, 2017, 39(3): 288-291.
引用本文: 张鹏, 丑修建, 刘立, 王二伟, 张辉. MEMS红外光源光谱特性及温度特性测试研究[J]. 红外技术, 2017, 39(3): 288-291.
shu
ZHANG Peng, CHOU Xiujian, LIU Li, WANG Erwei, ZHANG Hui. Research on Spectral and Temperature Characteristic Test of MEMS Infrared Light Source[J]. Infrared Technology , 2017, 39(3): 288-291.
Citation: ZHANG Peng, CHOU Xiujian, LIU Li, WANG Erwei, ZHANG Hui. Research on Spectral and Temperature Characteristic Test of MEMS Infrared Light Source[J]. Infrared Technology , 2017, 39(3): 288-291.
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MEMS红外光源光谱特性及温度特性测试研究

  • 中北大学 电子测试技术重点实验室,山西 太原 030051;中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西 太原 030051

  • 中北大学

基金项目: 国家自然科学基金项目(51275492)%中国博士后科学基金(2013T60557,2012T52118)%江苏省博士后科研计划项目(1201038C)
详细信息

  • 中图分类号: TN214%TN383

Research on Spectral and Temperature Characteristic Test of MEMS Infrared Light Source

摘要

    摘要
  • 摘要: MEMS红外光源是基于微机电系统(MEMS)制造工艺的红外光源器件,为明确MEMS红外光源的辐射光谱分布特性和温度特性,采用SR5000光谱辐射计对MEMS红外光源进行辐射光谱分布特性测试,所得数据表明所选光源的红外光谱分布主要在3~5μm之间,中心波长位于3.6μm,该波段红外光具有接近90%的大气透过率;采用红外测温仪和热敏电阻对光源辐射体温度进行测试,结果显示所选MEMS红外光源温度特性优良,适用范围广泛.
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