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MEMS红外光源光谱特性及温度特性测试研究

张鹏, 丑修建, 刘立, 王二伟, 张辉

张鹏, 丑修建, 刘立, 王二伟, 张辉. MEMS红外光源光谱特性及温度特性测试研究[J]. 红外技术, 2017, 39(3): 288-291.
引用本文: 张鹏, 丑修建, 刘立, 王二伟, 张辉. MEMS红外光源光谱特性及温度特性测试研究[J]. 红外技术, 2017, 39(3): 288-291.
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ZHANG Peng, CHOU Xiujian, LIU Li, WANG Erwei, ZHANG Hui. Research on Spectral and Temperature Characteristic Test of MEMS Infrared Light Source[J]. Infrared Technology , 2017, 39(3): 288-291.
Citation: ZHANG Peng, CHOU Xiujian, LIU Li, WANG Erwei, ZHANG Hui. Research on Spectral and Temperature Characteristic Test of MEMS Infrared Light Source[J]. Infrared Technology , 2017, 39(3): 288-291.
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MEMS红外光源光谱特性及温度特性测试研究

  • 中北大学 电子测试技术重点实验室,山西 太原 030051;中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西 太原 030051

  • 中北大学

基金项目: 国家自然科学基金项目(51275492)%中国博士后科学基金(2013T60557,2012T52118)%江苏省博士后科研计划项目(1201038C)
详细信息

  • 中图分类号: TN214%TN383

Research on Spectral and Temperature Characteristic Test of MEMS Infrared Light Source

摘要

    摘要
  • 摘要: MEMS红外光源是基于微机电系统(MEMS)制造工艺的红外光源器件,为明确MEMS红外光源的辐射光谱分布特性和温度特性,采用SR5000光谱辐射计对MEMS红外光源进行辐射光谱分布特性测试,所得数据表明所选光源的红外光谱分布主要在3~5μm之间,中心波长位于3.6μm,该波段红外光具有接近90%的大气透过率;采用红外测温仪和热敏电阻对光源辐射体温度进行测试,结果显示所选MEMS红外光源温度特性优良,适用范围广泛.
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    1. 石梦雨，徐晨，徐国跃，刘初阳，谭淑娟，王磊. 不同粘合剂对水杨醛类席夫碱涂层的发射率和热致变色性能的影响研究. 红外技术. 2019(01): 92-97 . 本站查看

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