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基于全光谱拟合法的VO2薄膜光学常数计算

侯典心, 路远, 宋福印

侯典心, 路远, 宋福印. 基于全光谱拟合法的VO2薄膜光学常数计算[J]. 红外技术, 2017, 39(3): 243-249.
引用本文: 侯典心, 路远, 宋福印. 基于全光谱拟合法的VO2薄膜光学常数计算[J]. 红外技术, 2017, 39(3): 243-249.
shu
HOU Dianxin, LU Yuan, SONG Fuyin. Optical Constants of VO2 Thin Films Based on Whole Optical Spectrum Fitting[J]. Infrared Technology , 2017, 39(3): 243-249.
Citation: HOU Dianxin, LU Yuan, SONG Fuyin. Optical Constants of VO2 Thin Films Based on Whole Optical Spectrum Fitting[J]. Infrared Technology , 2017, 39(3): 243-249.
shu

基于全光谱拟合法的VO2薄膜光学常数计算

  • 电子工程学院,安徽 合肥 230037;红外与低温等离子体安徽省重点实验室,安徽 合肥 230037;脉冲功率激光技术国家重点实验室,安徽 合肥 230037

  • 电子工程学院

基金项目: 脉冲功率激光技术国家重点实验室主任基金资助项目(SKL2013ZR03)
详细信息

  • 中图分类号: TB321

Optical Constants of VO2 Thin Films Based on Whole Optical Spectrum Fitting

摘要

    摘要
  • 摘要: 为实现对VO2薄膜光学常数的测量,本文在全光谱拟合法的基础上,首先利用导纳矩阵法推导出透射率T与薄膜厚度d、折射率n以及消光系数k的函数关系,然后利用单纯形法得到其优化函数.最后采用Matlab编程方法对低温态、高温态VO2薄膜的红外透射率进行了全光谱拟合,得到折射率和消光系数等VO2薄膜光学常数的拟合曲线.结果表明:拟合曲线与已有研究结果及实测曲线基本吻合.采用全光谱拟合方法得到的光学常数能较准确的对VO2薄膜进行描述,为最佳膜厚设计提供了依据.此外,为更简便地描述VO2薄膜的光学常数,本文还引入了Cauchy色散模型方程,对全光谱拟合方法得到的中远红外波段(2.5~15μm)的光学常数结果进行了拟合.
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