基于全光谱拟合法的VO2薄膜光学常数计算

基金项目: 脉冲功率激光技术国家重点实验室主任基金资助项目(SKL2013ZR03)

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Optical Constants of VO2 Thin Films Based on Whole Optical Spectrum Fitting

摘要: 为实现对VO2薄膜光学常数的测量,本文在全光谱拟合法的基础上,首先利用导纳矩阵法推导出透射率T与薄膜厚度d、折射率n以及消光系数k的函数关系,然后利用单纯形法得到其优化函数.最后采用Matlab编程方法对低温态、高温态VO2薄膜的红外透射率进行了全光谱拟合,得到折射率和消光系数等VO2薄膜光学常数的拟合曲线.结果表明:拟合曲线与已有研究结果及实测曲线基本吻合.采用全光谱拟合方法得到的光学常数能较准确的对VO2薄膜进行描述,为最佳膜厚设计提供了依据.此外,为更简便地描述VO2薄膜的光学常数,本文还引入了Cauchy色散模型方程,对全光谱拟合方法得到的中远红外波段(2.5~15μm)的光学常数结果进行了拟合.
- 薄膜光学 /
- VO2薄膜 /
- 全光谱拟合 /
- 单纯形法 /
- Cauchy色散模型

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