高级检索
ENGLISH

加热器结构及工艺对蓝宝石衬底应力的影响研究

陈靖, 程宏昌, 吴玲玲, 冯刘, 牛森, 苗壮

陈靖, 程宏昌, 吴玲玲, 冯刘, 牛森, 苗壮. 加热器结构及工艺对蓝宝石衬底应力的影响研究[J]. 红外技术, 2017, 39(1): 36-39,57.
引用本文: 陈靖, 程宏昌, 吴玲玲, 冯刘, 牛森, 苗壮. 加热器结构及工艺对蓝宝石衬底应力的影响研究[J]. 红外技术, 2017, 39(1): 36-39,57.
shu
CHEN Jing, CHENG Hongchang, WU Lingling, FENG Liu, NIU Sen, MIAO Zhuang. Influence of Heater Structure and Heating Technological Parameter on Stress in Sapphire Substrate[J]. Infrared Technology , 2017, 39(1): 36-39,57.
Citation: CHEN Jing, CHENG Hongchang, WU Lingling, FENG Liu, NIU Sen, MIAO Zhuang. Influence of Heater Structure and Heating Technological Parameter on Stress in Sapphire Substrate[J]. Infrared Technology , 2017, 39(1): 36-39,57.
shu

加热器结构及工艺对蓝宝石衬底应力的影响研究

  • 微光夜视技术重点实验室,陕西西安710065;西安工业大学光电工程学院,陕西西安710021

  • 微光夜视技术重点实验室,陕西西安,710065

  • 西安工业大学

基金项目: 微光夜视技术重点实验室基金项目(BJ2014004)%西安工业大学校长基金项目(01001302)
详细信息

  • 中图分类号: TN104

Influence of Heater Structure and Heating Technological Parameter on Stress in Sapphire Substrate

摘要

    摘要
  • 摘要: 为了研究真空系统中被加热的蓝宝石衬底应力的变化,利用有限元分析方法,借助ANSYSWorkbench软件仿真了温度场以及应力场,对两种不同结构的加热器及加热工艺参数进行了分析.用多圈钨丝螺旋结构外加抛物面釜的加热器,并改变工作电流,将200℃下温度差异由41.13℃降低至2.33℃,使厚度为2mm、直径40mm的蓝宝石衬底整个圆面内的应力差异由2.11MPa减小为1.56 MPa,应力差异减小了26.1％.结果表明,采用多圈钨丝螺旋结构外加抛物面釜可获得高均匀性的加热器温度场,且当工作电流为12A时,加热的蓝宝石衬底整个表面应力分布均匀.并采用蓝宝石衬底的应力检测结果进行了验证.研究结果对真空系统中被加热的其它材料如GaAs、InGaAs、GaN、Si、石英玻璃等应力分析研究具有一定的借鉴意义.
    • HTML全文
    • 参考文献(0)
    • 相关文章
    • 施引文献(2)

  • 期刊类型引用(0)

    其他类型引用(2)

    • 资源附件(0)
计量
  • 文章访问数:  96
  • HTML全文浏览量:  15
  • PDF下载量:  9
  • 被引次数: 2
出版历程

目录

摘要
HTML全文
    参考文献(0)
    相关文章
    施引文献(2)
    资源附件(0)

    /

    返回文章
    返回

    版权所有 © 《红外技术》编辑部滇ICP备12000354号-3

    本系统由 北京仁和汇智信息技术有限公司 开发  百度统计