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高性能短波红外 InGaAs 焦平面探测器研究进展

邵秀梅 龚海梅 李雪 方家熊 唐恒敬 李淘 黄松垒 黄张成

邵秀梅, 龚海梅, 李雪, 方家熊, 唐恒敬, 李淘, 黄松垒, 黄张成. 高性能短波红外 InGaAs 焦平面探测器研究进展[J]. 红外技术, 2016, 38(8): 629-635.
引用本文: 邵秀梅, 龚海梅, 李雪, 方家熊, 唐恒敬, 李淘, 黄松垒, 黄张成. 高性能短波红外 InGaAs 焦平面探测器研究进展[J]. 红外技术, 2016, 38(8): 629-635.
SHAO Xiumei, GONG Haimei, LI Xue, FANG Jiaxiong, TANG Hengjing, LI Tao, HUANG Songlei, HUANG Zhangchen. Developments of High Performance Short-wave Infrared InGaAs Focal Plane Detectors[J]. Infrared Technology , 2016, 38(8): 629-635.
Citation: SHAO Xiumei, GONG Haimei, LI Xue, FANG Jiaxiong, TANG Hengjing, LI Tao, HUANG Songlei, HUANG Zhangchen. Developments of High Performance Short-wave Infrared InGaAs Focal Plane Detectors[J]. Infrared Technology , 2016, 38(8): 629-635.

高性能短波红外 InGaAs 焦平面探测器研究进展

基金项目: 国家重点基础研究发展计划(2012CB619200)%国家自然科学基金(61376052,61475179)。
详细信息
  • 中图分类号: TN215

Developments of High Performance Short-wave Infrared InGaAs Focal Plane Detectors

  • 摘要: 中科院上海技物所近十年来开展了高性能短波红外 InGaAs 焦平面探测器的研究。0.9~1.7?m近红外 InGaAs 焦平面探测器已实现了256×1、512×1、1024×1等多种线列规格,以及320×256、640×512、4000×128等面阵,室温暗电流密度<5 nA/cm2,室温峰值探测率优于5×1012 cm?Hz1/2/W。同时,开展了向可见波段拓展的320×256焦平面探测器研究,光谱范围0.5~1.7?m,在0.8?m 的量子效率约20%,在1.0?m 的量子效率约45%。针对高光谱应用需求,上海技物所开展了1.0~2.5?m 短波红外 InGaAs 探测器研究,暗电流密度小于10 nA/cm2@200 K,形成了512×256、1024×128等多规格探测器,峰值量子效率高于75%,峰值探测率优于5×1011 cm?Hz1/2/W。
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    2021-06-16