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高性能短波红外 InGaAs 焦平面探测器研究进展

邵秀梅,  龚海梅,  李雪,  方家熊,  唐恒敬,  李淘,  黄松垒,  黄张成

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邵秀梅, 龚海梅, 李雪, 方家熊, 唐恒敬, 李淘, 黄松垒, 黄张成. 高性能短波红外 InGaAs 焦平面探测器研究进展[J]. 红外技术, 2016, 38(8): 629-635.
引用本文: 邵秀梅, 龚海梅, 李雪, 方家熊, 唐恒敬, 李淘, 黄松垒, 黄张成. 高性能短波红外 InGaAs 焦平面探测器研究进展[J]. 红外技术, 2016, 38(8): 629-635.
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SHAO Xiumei, GONG Haimei, LI Xue, FANG Jiaxiong, TANG Hengjing, LI Tao, HUANG Songlei, HUANG Zhangchen. Developments of High Performance Short-wave Infrared InGaAs Focal Plane Detectors[J]. Infrared Technology , 2016, 38(8): 629-635.
Citation: SHAO Xiumei, GONG Haimei, LI Xue, FANG Jiaxiong, TANG Hengjing, LI Tao, HUANG Songlei, HUANG Zhangchen. Developments of High Performance Short-wave Infrared InGaAs Focal Plane Detectors[J]. Infrared Technology , 2016, 38(8): 629-635.
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高性能短波红外 InGaAs 焦平面探测器研究进展

  • 中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室，上海 200083; 中国科学院红外成像材料与器件重点实验室，上海 200083

  • 中国科学院上海技术物理研究所

基金项目: 国家重点基础研究发展计划(2012CB619200)%国家自然科学基金(61376052，61475179)。
详细信息

  • 中图分类号: TN215

Developments of High Performance Short-wave Infrared InGaAs Focal Plane Detectors

    摘要
  • 摘要: 中科院上海技物所近十年来开展了高性能短波红外 InGaAs 焦平面探测器的研究。0.9～1.7?m近红外 InGaAs 焦平面探测器已实现了256×1、512×1、1024×1等多种线列规格，以及320×256、640×512、4000×128等面阵，室温暗电流密度＜5 nA/cm2，室温峰值探测率优于5×1012 cm?Hz1/2/W。同时，开展了向可见波段拓展的320×256焦平面探测器研究，光谱范围0.5～1.7?m，在0.8?m 的量子效率约20%，在1.0?m 的量子效率约45%。针对高光谱应用需求，上海技物所开展了1.0～2.5?m 短波红外 InGaAs 探测器研究，暗电流密度小于10 nA/cm2@200 K，形成了512×256、1024×128等多规格探测器，峰值量子效率高于75%，峰值探测率优于5×1011 cm?Hz1/2/W。
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