高性能短波红外 InGaAs 焦平面探测器研究进展

基金项目: 国家重点基础研究发展计划(2012CB619200)%国家自然科学基金(61376052，61475179)。

详细信息

Developments of High Performance Short-wave Infrared InGaAs Focal Plane Detectors

摘要: 中科院上海技物所近十年来开展了高性能短波红外 InGaAs 焦平面探测器的研究。0.9～1.7?m近红外 InGaAs 焦平面探测器已实现了256×1、512×1、1024×1等多种线列规格，以及320×256、640×512、4000×128等面阵，室温暗电流密度＜5 nA/cm2，室温峰值探测率优于5×1012 cm?Hz1/2/W。同时，开展了向可见波段拓展的320×256焦平面探测器研究，光谱范围0.5～1.7?m，在0.8?m 的量子效率约20%，在1.0?m 的量子效率约45%。针对高光谱应用需求，上海技物所开展了1.0～2.5?m 短波红外 InGaAs 探测器研究，暗电流密度小于10 nA/cm2@200 K，形成了512×256、1024×128等多规格探测器，峰值量子效率高于75%，峰值探测率优于5×1011 cm?Hz1/2/W。
- InGaAs /
- 焦平面 /
- 短波红外 /
- 暗电流 /
- 探测率

1.	杨娅娅，张艳，赵坚. 太赫兹技术在农作物品质检测中的研究进展. 应用激光. 2024(01): 109-118 . 百度学术
2.	屈薇薇，李欣宇，邓琥，邱义敏，刘耀文. 基于THz-TOF的塑料管材厚度测量方法. 西南科技大学学报. 2023(02): 92-96 . 百度学术
3.	刘祚时，周继雯，俞跃，李伟，叶超，唐大为. 油气管道聚乙烯层粘接缺陷的红外热成像检测方法和信号增强技术研究. 中国测试. 2019(11): 1-8 . 百度学术