InAs/GaSbⅡ类超晶格红外探测器量子效率计算研究
Research on Calculation of Quantum Efficiency of InAs/GaSb TypeⅡ Superlattice IR Detectors
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摘要: 首先分析了量子效率计算的相关理论,然后分析利用红外中波InAs/GaSbⅡ类超晶格材料进行光伏探测器研制,在对器件进行电学性能测试及光谱响应测试基础上,利用理论分析和测试数据计算出研制器件的实际电流响应率,再将实际电流响应率与理论分析的电流响应率相比,同时消除芯片表面SiO2钝化层光学透过率的影响,计算出器件对红外波段2～6?m辐射响应的量子效率最高可达35%,达到了国外同类型器件响应的量子效率指标.本文的研究为评价InAs/GaSbⅡ类超晶格红外探测器的光电转换性能提供了一种有效的方法.
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