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512×512元帧转移EMCCD图像传感器

A Frame Transfer EMCCD Image Sensor with 512×512 Pixels

    摘要
  • 摘要: 采用埋沟、三层多晶硅、两次金属工艺,研制出正照EMCCD器件.器件的像元尺寸16μm×16μm.器件在-20℃下工作,读出频率10 MHz,倍增增益可达1000倍以上,探测灵敏度5×10-4 lx.

     

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