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512×512元帧转移EMCCD图像传感器

白雪平, 郑渝, 李金, 刘芳, 陈于伟, 汪朝敏

白雪平, 郑渝, 李金, 刘芳, 陈于伟, 汪朝敏. 512×512元帧转移EMCCD图像传感器[J]. 红外技术, 2016, 38(4): 300-304.
引用本文: 白雪平, 郑渝, 李金, 刘芳, 陈于伟, 汪朝敏. 512×512元帧转移EMCCD图像传感器[J]. 红外技术, 2016, 38(4): 300-304.
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BAI Xueping, ZHENG Yu, LI Jin, LIU Fang, CHEN Yuwei, WANG Chaomin. A Frame Transfer EMCCD Image Sensor with 512×512 Pixels[J]. Infrared Technology , 2016, 38(4): 300-304.
Citation: BAI Xueping, ZHENG Yu, LI Jin, LIU Fang, CHEN Yuwei, WANG Chaomin. A Frame Transfer EMCCD Image Sensor with 512×512 Pixels[J]. Infrared Technology , 2016, 38(4): 300-304.
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512×512元帧转移EMCCD图像传感器

  • 中国电子科技集团公司第四十四研究所,重庆,400060

  • 中国电子科技集团公司

详细信息

  • 中图分类号: TP212

A Frame Transfer EMCCD Image Sensor with 512×512 Pixels

摘要

    摘要
  • 摘要: 采用埋沟、三层多晶硅、两次金属工艺,研制出正照EMCCD器件.器件的像元尺寸16μm×16μm.器件在-20℃下工作,读出频率10 MHz,倍增增益可达1000倍以上,探测灵敏度5×10-4 lx.
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    1. 梁少林，王咏梅，贾楠，石恩涛，毛靖华. 气溶胶探测仪CCD成像系统的设计. 中国激光. 2018(11): 246-253 . 百度学术
    2. 常振，王煜，司福祺，赵敏杰，江宇，刘凤垒，刘文清. 基于科学级CCD的紫外成像系统设计与实现. 中国激光. 2017(08): 183-191 . 百度学术

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