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液相外延碲镉汞表面化学腐蚀研究

周连军, 王静宇, 田丽萍, 任华, 袁绶章, 李东升, 舒畅, 王晓娟, 谢刚, 周嘉鼎

周连军, 王静宇, 田丽萍, 任华, 袁绶章, 李东升, 舒畅, 王晓娟, 谢刚, 周嘉鼎. 液相外延碲镉汞表面化学腐蚀研究[J]. 红外技术, 2015, (6): 506-509,522.
引用本文: 周连军, 王静宇, 田丽萍, 任华, 袁绶章, 李东升, 舒畅, 王晓娟, 谢刚, 周嘉鼎. 液相外延碲镉汞表面化学腐蚀研究[J]. 红外技术, 2015, (6): 506-509,522.
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ZHOU Lian-jun, WANG Jing-yu, TIAN Li-ping, REN Hua, YUAN Shou-zhang, LI Dong-sheng, SHU Chang, WANG Xiao-juan, XIE Gang, ZHOU Jia-ding. Study on Chemical Etching of LPE HgCdTe Surface[J]. Infrared Technology , 2015, (6): 506-509,522.
Citation: ZHOU Lian-jun, WANG Jing-yu, TIAN Li-ping, REN Hua, YUAN Shou-zhang, LI Dong-sheng, SHU Chang, WANG Xiao-juan, XIE Gang, ZHOU Jia-ding. Study on Chemical Etching of LPE HgCdTe Surface[J]. Infrared Technology , 2015, (6): 506-509,522.
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液相外延碲镉汞表面化学腐蚀研究

  • 昆明物理研究所,云南昆明,650223

  • 中国科学院昆明物理研究所

详细信息

  • 中图分类号: TN304.2+5

Study on Chemical Etching of LPE HgCdTe Surface

摘要

    摘要
  • 摘要: 应用不同浓度的溴甲醇溶液对液相外延碲镉汞表面进行化学腐蚀，并且测量了腐蚀速率。然后通过原子力显微镜及X射线光电子能谱分析了碲镉汞材料的表面状态。发现经过溴甲醇溶液腐蚀后，碲镉汞表面富碲现象较为严重而且表面粗糙度略有增加。
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