硅基MEMS红外光源光谱特性测试研究

中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室，山西太原 030051; 中北大学电子测试技术国防科技重点实验室，山西太原 030051
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室，山西太原 030051; 中北大学电子测试技术国防科技重点实验室，山西太原 030051; 苏州大学机电工程学院&江苏省先进机器人技术重点实验室&苏州纳米科技协同创新中心，苏州 215123
苏州大学机电工程学院&江苏省先进机器人技术重点实验室&苏州纳米科技协同创新中心,苏州,215123
中北大学
苏州大学

基金项目: 国家自然科学基金项目，编号51275492；中国博士后科学基金特别资助项目，编号2013T60557；中国博士后科学基金面上资助项目，编号2012M521118；江苏省博士后科研资助计划项目，编号1201038C。

详细信息

The Testing Research of Spectral Characteristics of Silicon MEMS Infrared Source

摘要: 硅基 MEMS 红外光源作为红外应用系统的核心部件，其光学辐射特性直接影响着整个红外装置的性能，然而，国内外对于硅基 MEMS 红外光源的辐射特性尤其是辐射光谱特性未见详细报道，因此，为确定硅基MEMS红外光源的辐射光谱分布，对MEMS红外光源光谱特性进行准确测试是非常必要的。实验采用OL（Optronic Laboratories）系列光谱测量系统对MEMS红外光源进行光谱特性测试，相对辐射光谱测试结果显示该光源的红外光谱波段主要分布在3～5mm，中心波长在3.6mm处，其大气透过率接近90%，具有很好的大气透射度。
- MEMS红外光源 /
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- 光栅衍射 /
- 光谱辐射

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