Uncooled VOx Infrared Focal Plane Array Pixel Optical Design and Experiment Results
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摘要: 非制冷氧化钒红外焦平面像元光学设计旨在提高像元对红外辐射的吸收性能。由于非制冷红外探测器的工作波段通常在8～14?m 范围内，要求像元在这个波段内具有较高的红外吸收率。采用光学导纳理论，进行像元微桥结构多层光学膜系优化设计。在器件工艺过程中，调节了桥面膜厚和高度，使桥面与Si衬底上金属反射层之间形成一个谐振腔结构。通过红外傅里叶反射光谱和相对光谱响应测试分析验证表明：像元微桥结构光学设计后，增强了非制冷探测器微桥结构像元在8～14?m波段的红外吸收率和相对光谱响应。
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红外无损检测技术是一门跨学科、跨应用领域的创新性无损检测技术，具有非接触、检测速度快、检测精度与分辨率高、可靠性高等突出优点，已被广泛应用于航空、航天、风电、石化、电力等领域的工业材料与装备检测。近年来，人工智能、计算机科学、电子信息等科学技术的快速发展，不仅推动红外无损检测技术取得了巨大进步，也促使红外无损检测技术向着多样化、智能化、集成化等方向发展。
为了促进我国红外无损检测技术的创新发展，2023年10期，《红外技术》推出了“红外无损检测新技术”专栏，共收录7篇学术论文，内容涉及红外热成像技术在FRP复合材料热障涂层无损检测应用中的研究现状与进展，超声激励红外热成像研究现状与进展，基于YOLO v5的带涂层钢结构亚表面缺陷脉冲涡流热成像智能检测，基于脉冲红外热成像技术的锂电池端盖焊接质量检测，线激光扫描热成像无损检测参数仿真研究，滚动轴承红外热成像故障诊断与状态监测等，涉及内容广泛。旨在集中反映报道红外无损检测技术的最新动态和发展趋势，为我国相关科研人员和广大读者提供学术参考，为红外无损检测技术的创新发展提供一些新思路和新手段。
最后，感谢专栏论文所有作者和各位审稿专家的卓越贡献。
——郑凯
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