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液相外延碲镉汞材料组分均匀性改善

Improvement of Compositional Uniformity of HgCdTe Grown by LPE

    摘要
  • 摘要: 由碲镉汞薄膜材料的厚度不均匀性入手，改进水平滑舟液相外延工艺，从而改善了碲镉汞薄膜材料组分均匀性，使距薄膜边缘1.5 mm（衬底边缘2.5 mm）以内的薄膜材料组分均匀性得到了长足的提高，增大了薄膜材料用于制备焦平面器件的利用率。中波碲镉汞材料（?1/2(77 K)＝4.8?m）?x≤0.001，与国外水平相当。

     

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