射频功率对红外光学用类金刚石膜结构和性能的影响
Effect of RF Power on the Structure and Properties of Diamond-like Carbon Films for Infrared Optics
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摘要: 利用射频等离子体增强化学气相沉积技术，以CH4为气源，在单晶锗基底上制备了具有红外增透效果的薄膜。Raman光谱分析表明，D峰和G峰分别位于1200～1450 cm－1和1500～1700 cm－1之间，说明薄膜具有典型的类金刚石的特征峰，可知镀制的薄膜是类金刚石膜。通过研究射频功率对类金刚石膜红外透过率以及硬度等性能的影响，分析了类金刚石膜的红外透过率和纳米硬度随着薄膜中sp3含量的增加而增大的原因，从而找出一种利用PECVD方法制备DLC膜的最佳工艺参数。
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