高级检索
ENGLISH

射频功率对红外光学用类金刚石膜结构和性能的影响

杨玉卫, 张华, 杨坚, 古宏伟

杨玉卫, 张华, 杨坚, 古宏伟. 射频功率对红外光学用类金刚石膜结构和性能的影响[J]. 红外技术, 2014, (11): 880-884.
引用本文: 杨玉卫, 张华, 杨坚, 古宏伟. 射频功率对红外光学用类金刚石膜结构和性能的影响[J]. 红外技术, 2014, (11): 880-884.
shu
YANG Yu-wei, ZHANG Hua, YANG Jian, GU Hong-wei. Effect of RF Power on the Structure and Properties of Diamond-like Carbon Films for Infrared Optics[J]. Infrared Technology , 2014, (11): 880-884.
Citation: YANG Yu-wei, ZHANG Hua, YANG Jian, GU Hong-wei. Effect of RF Power on the Structure and Properties of Diamond-like Carbon Films for Infrared Optics[J]. Infrared Technology , 2014, (11): 880-884.
shu

射频功率对红外光学用类金刚石膜结构和性能的影响

  • 北京有色金属研究总院产业发展部,北京,100088

  • 北京有色金属研究总院能源材料与技术研究所,北京,100088

  • 中国科学院电工研究所,北京,100190

  • 北京有色金属研究总院

  • 中国科学院电工研究所

详细信息

  • 中图分类号: O484%TN213

Effect of RF Power on the Structure and Properties of Diamond-like Carbon Films for Infrared Optics

摘要

    摘要
  • 摘要: 利用射频等离子体增强化学气相沉积技术，以CH4为气源，在单晶锗基底上制备了具有红外增透效果的薄膜。Raman光谱分析表明，D峰和G峰分别位于1200～1450 cm－1和1500～1700 cm－1之间，说明薄膜具有典型的类金刚石的特征峰，可知镀制的薄膜是类金刚石膜。通过研究射频功率对类金刚石膜红外透过率以及硬度等性能的影响，分析了类金刚石膜的红外透过率和纳米硬度随着薄膜中sp3含量的增加而增大的原因，从而找出一种利用PECVD方法制备DLC膜的最佳工艺参数。
    • HTML全文
    • 参考文献(0)
    • 相关文章
    • 施引文献(2)

  • 期刊类型引用(1)

    1. 蒋成龙，王彦斌，肖文健，张德锋，周旋风. 连续激光辐照碲镉汞探测器仿真研究. 激光与红外. 2024(12): 1879-1884 . 百度学术

    其他类型引用(1)

    • 资源附件(0)
计量
  • 文章访问数:  156
  • HTML全文浏览量:  28
  • PDF下载量:  13
  • 被引次数: 2
出版历程

目录

摘要
HTML全文
    参考文献(0)
    相关文章
    施引文献(2)
    资源附件(0)

    /

    返回文章
    返回

    版权所有 © 《红外技术》编辑部滇ICP备12000354号-3

    本系统由 北京仁和汇智信息技术有限公司 开发  百度统计