320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器研究
Analysis of MW 320×256 IRFPA Detector Based on MCT/Ge
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摘要: 报道了分子束外延锗基中波碲镉汞薄膜材料以及320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器研究的初步结果。利用分子束外延技术基于3英寸锗衬底生长的中波碲镉汞薄膜材料，平均宏观缺陷密度低于200 cm-2，平均半峰宽优于90 arcsec，平均腐蚀坑密度低于2.9×106 cm-2；采用标准的二代平面工艺制备的320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器，平均峰值探测率达到3.8×1011 cm?Hz1/2W-1，平均等效噪音温差优于17.3 mK，非均匀性优于6.5%，有效像元率高于99.7%。
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