一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术

尤越, 王乔方, 字正华

尤越, 王乔方, 字正华. 一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术[J]. 红外技术, 2014, (4): 331-335.
引用本文: 尤越, 王乔方, 字正华. 一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术[J]. 红外技术, 2014, (4): 331-335.
YOU Yue, WANG Qiao-fang, ZI Zheng-hua. A Test Technique of Surface Shape Aspheric Optics Parameters Based on Matlab[J]. Infrared Technology , 2014, (4): 331-335.
Citation: YOU Yue, WANG Qiao-fang, ZI Zheng-hua. A Test Technique of Surface Shape Aspheric Optics Parameters Based on Matlab[J]. Infrared Technology , 2014, (4): 331-335.

一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术

基金项目: 国防科技工业技术基础科研支持项目。
详细信息
  • 中图分类号: TN214%TH74

A Test Technique of Surface Shape Aspheric Optics Parameters Based on Matlab

  • 摘要: 提出了一种接触式轮廓仪测量非球面参数的新方法,该方法通过在传统的二维接触式轮廓仪基础上增加旋转,从而实现了三维测量。为了验证新方法的测量准确性与可行性,文中使用ZYGO干涉仪对旋转对称球面进行检测,与新方法的检测结果加以对比。最后,使用新方法对非球面光学元件的面形参数进行测试,分析结果表明新的测量方法具备较高的测试精度,满足测量要求。
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