一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术

一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术

尤越, 王乔方, 字正华

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尤越, 王乔方, 字正华. 一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术[J]. 红外技术, 2014, (4): 331-335.

引用本文:

尤越, 王乔方, 字正华. 一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术[J]. 红外技术, 2014, (4): 331-335.

YOU Yue, WANG Qiao-fang, ZI Zheng-hua. A Test Technique of Surface Shape Aspheric Optics Parameters Based on Matlab[J]. Infrared Technology , 2014, (4): 331-335.

Citation:

YOU Yue, WANG Qiao-fang, ZI Zheng-hua. A Test Technique of Surface Shape Aspheric Optics Parameters Based on Matlab[J]. Infrared Technology , 2014, (4): 331-335.

一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术

昆明物理研究所,云南昆明,650223
中国科学院昆明物理研究所

基金项目: 国防科技工业技术基础科研支持项目。

详细信息

中图分类号: TN214%TH74
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出版历程

A Test Technique of Surface Shape Aspheric Optics Parameters Based on Matlab

摘要: 提出了一种接触式轮廓仪测量非球面参数的新方法，该方法通过在传统的二维接触式轮廓仪基础上增加旋转，从而实现了三维测量。为了验证新方法的测量准确性与可行性，文中使用ZYGO干涉仪对旋转对称球面进行检测，与新方法的检测结果加以对比。最后，使用新方法对非球面光学元件的面形参数进行测试，分析结果表明新的测量方法具备较高的测试精度，满足测量要求。
- 非球面面形参数 /
- 接触式轮廓仪 /
- ZYGO干涉仪 /
- 测试精度

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