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HgCdTe红外焦平面探测器从研发到生产
韩福忠
,
周连军
,
袁绶章
,
吴军
HgCdTe IRFPA Detectors from Research to Production
HAN Fu-zhong
,
ZHOU Lian-jun
,
YUAN Shou-zhang
,
WU jun
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HgCdTe 红外焦平探测器经过多年的研发,已达到批量生产的水平。昆明物理研究所批量生产的第二代红外探测器产品主要是长波288×4和中波320×256两类典型的红外焦平面探测器组件。在2013年这两类组件生产的数量分别可达几百套。介绍了在红外探测器生产中所需解决的关键问题,主要是HgCdTe材料的质量及光伏器件工艺的稳定性,并介绍两类主要生产的探测器组件产品及其性能结果。
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