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一种新型的高均匀性非制冷红外读出电路研究

周云, 张丽, 吕坚, 蒋亚东

周云, 张丽, 吕坚, 蒋亚东. 一种新型的高均匀性非制冷红外读出电路研究[J]. 红外技术, 2014, (1): 22-25.
引用本文: 周云, 张丽, 吕坚, 蒋亚东. 一种新型的高均匀性非制冷红外读出电路研究[J]. 红外技术, 2014, (1): 22-25.
shu
ZHOU Yun, ZHANG Li, LV Jian, JIANG Ya-dong. An Novel Readout Circuit Allowing Microbolometer to Operate with High Uniformity[J]. Infrared Technology , 2014, (1): 22-25.
Citation: ZHOU Yun, ZHANG Li, LV Jian, JIANG Ya-dong. An Novel Readout Circuit Allowing Microbolometer to Operate with High Uniformity[J]. Infrared Technology , 2014, (1): 22-25.
shu

一种新型的高均匀性非制冷红外读出电路研究

  • 电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川 成都,610054

  • 东北微电子所,辽宁 沈阳,110032

  • 电子科技大学

  • 东北微电子研究所

基金项目: 国家自然科学基金，编号61235006。
详细信息

  • 中图分类号: TN432

An Novel Readout Circuit Allowing Microbolometer to Operate with High Uniformity

摘要

    摘要
  • 摘要: 针对非制冷红外探测器系统，设计了一种高均匀性的读出电路（ROIC）结构。由于非制冷红外焦平面阵列中微测辐射热计的制作工艺存在偏差导致探测器输出存在非均匀性，其中列条纹尤为明显。所提出的读出电路能有效地消除列条纹、提高均匀性。该ROIC已在0.5?m CMOS工艺下成功流片，并应用到阵列大小为320×240的非制冷微测辐射热计焦平面上。测试结果表明：固定图像噪声（FPN）仅为0.088 V，无明显列条纹。该ROIC在高均匀性的非制冷红外探测器上有着广泛的应用。
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