CdS薄膜的可见和近红外光谱性能研究

Visible-near Infrared Spectral Transmittance Properties for CdS Films

摘要: 在康宁7059玻璃衬底上采用磁控溅射、化学水浴和近空间升华法制备CdS薄膜,在FTO、ITO、AZO衬底上采用磁控溅射法制备CdS薄膜.分别对两组CdS薄膜的形貌、结构和光学性能进行了研究,结果表明:采用不同工艺和衬底条件制备的CdS薄膜具有不同的形貌和结构,并表现出不同的光学性能.对于不同的制备技术,化学水浴法制备的CdS薄膜在520~820 nm范围的光谱平均透过率最高,光学带隙最大为2.418 eV,磁控溅射法制备的CdS薄膜在820~1200 nm和520~1200 nm范围的光谱平均透过率最高.对于不同的衬底条件,在FTO衬底上磁控溅射制备的CdS薄膜在820~1200 nm和520~1200 nm范围的光谱平均透过率最高.