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基于非晶硅薄膜的微测辐射热计光学仿真和优化

何敏, 李伟, 李雨励, 孙言, 蒋亚东

何敏, 李伟, 李雨励, 孙言, 蒋亚东. 基于非晶硅薄膜的微测辐射热计光学仿真和优化[J]. 红外技术, 2012, 34(6): 319-324,331. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2012.06.003
引用本文: 何敏, 李伟, 李雨励, 孙言, 蒋亚东. 基于非晶硅薄膜的微测辐射热计光学仿真和优化[J]. 红外技术, 2012, 34(6): 319-324,331. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2012.06.003
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HE Min, LI Wei, LI Yu-li, SUN Yan, JIANG Ya-dong. Optical Optimization and Simulation of Micro-bolometers Based on α-Si:H Thin Film[J]. Infrared Technology , 2012, 34(6): 319-324,331. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2012.06.003
Citation: HE Min, LI Wei, LI Yu-li, SUN Yan, JIANG Ya-dong. Optical Optimization and Simulation of Micro-bolometers Based on α-Si:H Thin Film[J]. Infrared Technology , 2012, 34(6): 319-324,331. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2012.06.003
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基于非晶硅薄膜的微测辐射热计光学仿真和优化

  • 电子科技大学光电信息学院,四川成都,610054

  • 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都,610054

  • 电子科技大学

详细信息

  • 中图分类号: TN215

Optical Optimization and Simulation of Micro-bolometers Based on α-Si:H Thin Film

摘要

    摘要
  • 摘要: 基于非晶硅薄膜的非制冷微测辐射热计具有结构简单、易于大规模集成、工艺兼容以及良好探测性能等特点,在红外探测领域等受到关注.引入氮化钛薄膜作为新型红外吸收材料,通过光学导纳矩阵法,对基于非晶硅薄膜的微测辐射热计的红外吸收特性,进行了仿真和优化研究.结果表明,非晶硅微测辐射热计中,氮化钛/非晶硅复合薄膜具有良好的红外吸收性能.当非晶硅薄膜厚度为120nm时,由氮化钛/非晶硅组成的膜系在8～14μm范围内具有96％左右的红外吸收率,其中氮化钛薄膜的最佳吸收厚度为32nm.
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