基于非晶硅薄膜的微测辐射热计光学仿真和优化
Optical Optimization and Simulation of Micro-bolometers Based on α-Si:H Thin Film
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摘要: 基于非晶硅薄膜的非制冷微测辐射热计具有结构简单、易于大规模集成、工艺兼容以及良好探测性能等特点,在红外探测领域等受到关注.引入氮化钛薄膜作为新型红外吸收材料,通过光学导纳矩阵法,对基于非晶硅薄膜的微测辐射热计的红外吸收特性,进行了仿真和优化研究.结果表明,非晶硅微测辐射热计中,氮化钛/非晶硅复合薄膜具有良好的红外吸收性能.当非晶硅薄膜厚度为120nm时,由氮化钛/非晶硅组成的膜系在8～14μm范围内具有96％左右的红外吸收率,其中氮化钛薄膜的最佳吸收厚度为32nm.
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