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非晶态碲镉汞薄膜晶化过程的椭圆偏振光谱研究

孔金丞, 王光华, 杨佩原, 杨丽丽, 李雄军, 赵俊, 张鹏举, 孔令德, 姬荣斌

孔金丞, 王光华, 杨佩原, 杨丽丽, 李雄军, 赵俊, 张鹏举, 孔令德, 姬荣斌. 非晶态碲镉汞薄膜晶化过程的椭圆偏振光谱研究[J]. 红外技术, 2012, 34(4): 187-190. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2012.04.001
引用本文: 孔金丞, 王光华, 杨佩原, 杨丽丽, 李雄军, 赵俊, 张鹏举, 孔令德, 姬荣斌. 非晶态碲镉汞薄膜晶化过程的椭圆偏振光谱研究[J]. 红外技术, 2012, 34(4): 187-190. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2012.04.001
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KONG Jin-cheng, WANG Guang-hua, YANG Pei-yuan, YANG Li-li, LI Xiong-jun, ZHAO Jun, ZHANG Peng-ju, KONG Ling-de, JI Rong-bin. Characterization of the Crystallization of Amorphous Hg0.2Cd0.8Te Using Spectroscopic Ellipsometry[J]. Infrared Technology , 2012, 34(4): 187-190. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2012.04.001
Citation: KONG Jin-cheng, WANG Guang-hua, YANG Pei-yuan, YANG Li-li, LI Xiong-jun, ZHAO Jun, ZHANG Peng-ju, KONG Ling-de, JI Rong-bin. Characterization of the Crystallization of Amorphous Hg0.2Cd0.8Te Using Spectroscopic Ellipsometry[J]. Infrared Technology , 2012, 34(4): 187-190. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2012.04.001
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非晶态碲镉汞薄膜晶化过程的椭圆偏振光谱研究

  • 昆明物理研究所,云南 昆明,650223

  • 中国兵器科学研究院,北京,100089

  • 中国科学院昆明物理研究所

  • 中国兵器科学研究院

基金项目: The National Natural Science Foundation of China(60576069)
详细信息

  • 中图分类号: TN213

Characterization of the Crystallization of Amorphous Hg0.2Cd0.8Te Using Spectroscopic Ellipsometry

摘要

    摘要
  • 摘要: 采用椭圆偏振光谱技术研究了非晶态碲镉汞薄膜在不同退火条件下的结构性能.结果表明非晶态碲镉汞薄膜在退火过程中的成核晶化是在薄膜内部均匀发生的,对于不同晶化程度的薄膜,其光学常数谱具有明显的特征,通过对光学常数谱的分析研究可以对非晶态碲镉汞薄膜的晶化程度进行量化表征,从而控制退火条件,优化材料质量.
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