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硅基自由曲面光学微透镜阵列制作及光学性能研究

孙艳军, 冷雁冰, 陈哲, 董连和

孙艳军, 冷雁冰, 陈哲, 董连和. 硅基自由曲面光学微透镜阵列制作及光学性能研究[J]. 红外技术, 2012, 34(1): 44-47. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2012.01.009
引用本文: 孙艳军, 冷雁冰, 陈哲, 董连和. 硅基自由曲面光学微透镜阵列制作及光学性能研究[J]. 红外技术, 2012, 34(1): 44-47. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2012.01.009
shu
SUN Yan-jun, LENG Yan-bing, CHEN Zhe, DONG Lian-he. Study on Optical Property and Fabrication of Silicon-based Free-form Micro-lens Array[J]. Infrared Technology , 2012, 34(1): 44-47. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2012.01.009
Citation: SUN Yan-jun, LENG Yan-bing, CHEN Zhe, DONG Lian-he. Study on Optical Property and Fabrication of Silicon-based Free-form Micro-lens Array[J]. Infrared Technology , 2012, 34(1): 44-47. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2012.01.009
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硅基自由曲面光学微透镜阵列制作及光学性能研究

  • 长春理工大学光电工程学院,长春,130022

  • 长春理工大学

基金项目: 吉林省自然科学基金(编号:20100111)
详细信息

  • 中图分类号: TH706

Study on Optical Property and Fabrication of Silicon-based Free-form Micro-lens Array

摘要

    摘要
  • 摘要: 针对自由曲面无固定解析式的特点,根据感光材料的光化学作用原理,以及曝光能量与曝光深度的制约关系,提出采用变剂量曝光的光刻方法制作自由曲面光学微器件.从光传播理论出发,分析了曝光过程光刻胶中光能量分布规律和曝光深度随曝光能量的变化关系,建立了光分布规律的数学模型,并应用计算机软件对模型进行仿真.结果表明:光能量在胶膜内呈规律性分布,在能量一定的情况下曝光深度随时间规律性增加,并逐渐达到饱和.同时,应用长春理工大学BOL500型复合坐标激光直写系统,选用美国Futurrex62A光刻胶、波长412 nm He-Ge气体激光器、5％NaOH显影液进行曝光及显影实验,所得实验数据与仿真结果吻合.
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