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320×240混合式非制冷红外焦平面探测器芯片工艺研究

Study on Processing of 320×240 Hybrid UFPA

    摘要
  • 摘要: 热释电非制冷红外探测器具有成本低廉、无需制冷等优异特点,在红外探测和红外成像领域占有极其重要的地位.从热释电非制冷焦平面探测器的晶片制备、红外吸收结构设计、倒装互连等关键工艺的研究进行了阐述,其研究试验最终实现了320×240的成像演示.

     

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