柔性基底Ti/TiO2薄膜的可见光谱及红外辐射特性研究

Study on Visible Spectrum and Infrared Radiation Characteristics of the Flexible Ti/TiO2 Films

摘要: 采用多弧离子镀法在柔性聚酰亚胺(PI)基底上制备了Ti/TiO2复合多层薄膜,通过控制基底材料的粗糙度使制备出的薄膜在可见波段具有非镜面反射效果,通过分别控制薄膜的内层和外层膜的厚度使其在8～14pan波段具有连续可调的红外发射率.采用扫描电镜、X射线衍射、紫外-可见-近红外光光度计等测试手段对薄膜样品进行了表征,并测试了样品的红外发射率,实验结果表明,采用多弧离子镀法成功的在PJ基底上制备了结合力较好,具有多种颜色,红外发射率和方块电阻连续可调的薄膜.研究发现,在外层TiO2膜工艺不变的情况下,随着内层Ti膜厚度增加,红外发射率和方块电阻连续减小;在内层Ti膜工艺不变的情况下,随着外层TiO2膜厚度增加,红外发射率和方块电阻连续增大.