变温循环热处理对液相外延Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量的影响
Effect of Loop Thermal Processing on Crystal of Hg1-x Cdx Te Thin Film Grown by Liquid Phase Epitaxy (LPE)
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摘要: 采用X射线衍射双晶回摆曲线半峰宽(FWHM)、反射式X射线形貌相和腐蚀坑密度(EPD)技术对开管变温热处理前后的液相外延(LPE)Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量进行了研究.变温循环热处理能有效减小液相外延Hg1-CdxTe薄膜材料的FWHM、释放材料中的应力、减少材料的腐蚀坑密度,说明变温循环热处理是一种简单而有效的改善Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量的方法.
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