摘要: 根据现代红外激光扫描系统的需求,分别设计了工作于808 nm～1064 nm波段和1064 nm～1500 nm波段的折/衍混杂f-theta系统.系统分别由三片镜和四片镜组成,激光扫描范围分别为100 mm×100 mm和60 mm×60 mm.此二系统相配合,可以完成在808 nm～1500 nm波长范围的激光扫描工作.点列图分析表明,输出光斑质量优良均匀,在0视场、0.7视场、和全视场光斑均接近衍射极限.像差分析表明,系统最大色差为26 μm,最大场曲小于0.3 mm,最大f-theta误差小于0.03%.满足现代多工作波长、高精度激光打标机的实际需求.