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非制冷焦平面探测器牺牲层制备工艺研究

Research on Sacrificial Layers Fabrication in Uncooled Infrared Focal Plane Array

    摘要
  • 摘要: 研究了牺牲层制备的工艺过程.通过对牺牲层材料选择、牺牲层图形化及牺牲层固化等工艺技术的研究,获得了图形质量较好的牺牲层样品.建立了优化的牺牲层制备工艺制度,为探测器的后续研究奠定了基础.

     

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