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一种新型溶胶-凝胶方法制备ZnO薄膜的椭圆偏振光谱研究

唐利斌, 郑云, 吴刚, 姬荣斌, 宋炳文, 黄晖

唐利斌, 郑云, 吴刚, 姬荣斌, 宋炳文, 黄晖. 一种新型溶胶-凝胶方法制备ZnO薄膜的椭圆偏振光谱研究[J]. 红外技术, 2006, 28(1): 7-11. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.01.002
引用本文: 唐利斌, 郑云, 吴刚, 姬荣斌, 宋炳文, 黄晖. 一种新型溶胶-凝胶方法制备ZnO薄膜的椭圆偏振光谱研究[J]. 红外技术, 2006, 28(1): 7-11. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.01.002
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TANG Li-bin, ZHENG Yun, WU Gang, JI Rong-bin, SONG Bing-wen, HUANG Hui. Ellipsometry Study on the ZnO Thin Film Prepared by A Novel Sol-Gel Method[J]. Infrared Technology , 2006, 28(1): 7-11. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.01.002
Citation: TANG Li-bin, ZHENG Yun, WU Gang, JI Rong-bin, SONG Bing-wen, HUANG Hui. Ellipsometry Study on the ZnO Thin Film Prepared by A Novel Sol-Gel Method[J]. Infrared Technology , 2006, 28(1): 7-11. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.01.002
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一种新型溶胶-凝胶方法制备ZnO薄膜的椭圆偏振光谱研究

  • 昆明物理研究所,云南,昆明,650223

  • 中国科学院昆明物理研究所

基金项目: 云南省自然科学基金(2004E0055M)%云南省自然科学基金(2003E0012Z)
详细信息

  • 中图分类号: TN213

Ellipsometry Study on the ZnO Thin Film Prepared by A Novel Sol-Gel Method

摘要

    摘要
  • 摘要: 使用一种新型的溶胶-凝胶方法制备了ZnO薄膜,此方法的特点在于操作简单、无毒、实用.此方法可在非单晶基片(如玻璃、石英等)上制备最大晶粒尺寸大于100 nm的大面积ZnO薄膜.利用椭圆偏振光谱观察到了所制备ZnO薄膜折射率随光子能量的增加在光子能量等于禁带宽度处出现峰值的现象;计算了ZnO薄膜的光学带隙;证明了ZnO薄膜中存在由氧空位和锌间隙原子在带隙中引入的缺陷能级.
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