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微机械非制冷红外热电堆探测器

Micromachined Uncooled Infrared Thermopile Detector

    摘要
  • 摘要: 近年来,非制冷红外探测器应用和开发一直是令人关注的焦点之一,详细介绍了几种现阶段流行的非制冷热电堆探测器的工艺制作方法以及所用材料,并介绍了近几年来热电堆探测器的发展情况.

     

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