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1~3μm短波红外光导探测器阳极氧化工艺的研究

    摘要
  • 摘要: 简要介绍了通过阳极氧化工艺条件的改变,确定1～3μm短波红外光导探测器阳极氧化的最佳工艺条件,从而改善了器件性能,大大提高了产品成品率.

     

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