带耦合光栅的量子阱红外探测器研制
Fabrication of Quantum Well Infrared Photodector Focal Plane Array Coupled with 2-D Diffraction Grating
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摘要: 报导了带二维衍射光栅的128元线列GaAs/AlGaAs多量子阱长波红外焦平面探测器的研究成果.探测器光吸收峰值波长λP＝8.9 μm,采用垂直入射光耦合的工作模式,在80 K工作温度下其平均黑体电压响应率为2.75×104V/W,平均黑体探测率为2.52×109 cmHz1/2/W;电压响应率和探测率的非均匀性分别5.2%和8.3%.128元线列探测器与64元CMOS读出电路对接后与光学系统、扫描系统、数据采集系统和图像显示系统等组成红外成像演示系统,实验室获得了清晰的人体手部热像和余热图像.
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