BST铁电薄膜非制冷红外探测器热成像应用
An Uncooled (Ba, Sr)TiO3 Thin Film Infrared Sensor Array Suitable for Thermal Imaging Applications
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摘要: 报道了基于Bao.8Sr0.2TiO3薄膜的红外探测器列阵原型器件,并通过将探测器器件与光学机械扫描器、红外图象采集卡、信号处理电路、热像仪系统软件和热像记录装置等组合形成整机系统,采用单元扫描方式,获得了目标物体的热图像.制作器件的Bao.8Sr0.2 TiO3薄膜是使用浓度为0.05 M的前躯体溶液、采用溶胶-凝胶法制备的.对Bao.8Sr0.2 TiO3薄膜材料的测试结果表明,在5~30℃的温度范围内,a0.8 Sr0.2TiO3薄膜的热释电系数大于20 nC/cm2K,在16℃处达到最大值41. 3 nC/cm2K.在23℃的环境温度下,使用1000 K的标准黑体和35 Hz的调制频率,测得探测器列阵探测单元的探测率D*为2.3×108cmHz1/2W-1,已经能够满足红外热像仪应用的要求.