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BST铁电薄膜非制冷红外探测器热成像应用

唐军, 程建功, 褚君浩, 郁启华

唐军, 程建功, 褚君浩, 郁启华. BST铁电薄膜非制冷红外探测器热成像应用[J]. 红外技术, 2002, 24(5): 18-21,33. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2002.05.005
引用本文: 唐军, 程建功, 褚君浩, 郁启华. BST铁电薄膜非制冷红外探测器热成像应用[J]. 红外技术, 2002, 24(5): 18-21,33. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2002.05.005
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An Uncooled (Ba, Sr)TiO3 Thin Film Infrared Sensor Array Suitable for Thermal Imaging Applications[J]. Infrared Technology , 2002, 24(5): 18-21,33. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2002.05.005
Citation: An Uncooled (Ba, Sr)TiO3 Thin Film Infrared Sensor Array Suitable for Thermal Imaging Applications[J]. Infrared Technology , 2002, 24(5): 18-21,33. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2002.05.005
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BST铁电薄膜非制冷红外探测器热成像应用

  • 中国科学院红外物理国家实验室,中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083

  • 上海德运光电技术有限公司,上海,200083

  • 中国科学院上海技术物理研究所

  • 上海德运光电技术有限公司

基金项目: 国家自然科学基金(69738020)%国家攀登计划
详细信息

  • 中图分类号: TN215

An Uncooled (Ba, Sr)TiO3 Thin Film Infrared Sensor Array Suitable for Thermal Imaging Applications

摘要

    摘要
  • 摘要: 报道了基于Bao.8Sr0.2TiO3薄膜的红外探测器列阵原型器件,并通过将探测器器件与光学机械扫描器、红外图象采集卡、信号处理电路、热像仪系统软件和热像记录装置等组合形成整机系统,采用单元扫描方式,获得了目标物体的热图像.制作器件的Bao.8Sr0.2 TiO3薄膜是使用浓度为0.05 M的前躯体溶液、采用溶胶-凝胶法制备的.对Bao.8Sr0.2 TiO3薄膜材料的测试结果表明,在5～30℃的温度范围内,a0.8 Sr0.2TiO3薄膜的热释电系数大于20 nC/cm2K,在16℃处达到最大值41. 3 nC/cm2K.在23℃的环境温度下,使用1000 K的标准黑体和35 Hz的调制频率,测得探测器列阵探测单元的探测率D*为2.3×108cmHz1/2W-1,已经能够满足红外热像仪应用的要求.
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