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红外光学薄膜的热应变效应分析

Analysis of Effect in the Infrared Optical Films by Thermal Strain

    摘要
  • 摘要: 引入了一个分析红外光学薄膜热应变效应的模型,并针对具体情况,对模型作了必要的改进.应用新模型对高温淀积薄膜的冷却过程进行了模拟计算,得出了冷却后薄膜平均折射率与多个薄膜工艺和材料参数的关系,并对模拟结果作了相应的比较分析.

     

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