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MOVPE生长Hg1-xCdxTe薄膜的实验研究
张怀若
,
杨玉林
,
张梅
,
李艳辉
,
张静蓉
,
杨宇
,
姬荣斌
The Study of Hg(1-x)CdxTe Film Grown by MOVPE
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采用金属有机化合物汽相外延法(MOVPE)和多层膜互扩散生长工艺(IMP)在不同的生长条件下生长了许多Hg1-xCdxTe/GaAs(211)薄膜样品,并对样品进行了傅利叶红外透射(FTIR)和范德堡Hall测量;通过对许多实验数据进行系统的对比分析,总结了薄膜的生长规律,并对这些生长规律作出了理论分析,阐释了薄膜的微观生长机制.
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