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一种MCT离子注入工艺的模型及其计算机模拟方法

An Ion Implantation Modeling of HgCdTe and Simulation Method

    摘要
  • 摘要: 给出了一种简单而有效的碲镉汞(MCT)离子注入工艺模型，研究了应用该模型进行计算机模拟的数值方法，最后讨论了该模型中一些重要参数的确定方法。

     

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